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SORTER系统
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SORTER系统

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解决方案
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1
方案详情

机型 JY-SORTER- C6

产品型号

Sorter System MK-1

使用环境

洁净大气环境

适用晶圆规格

100-200mm

适用Cassette规格

100-200mm FOUP (25pcs)

最大Cassette容量

100-150mm:6个(双层);200mm:3个(单层)

最大传片效率

400pcs/h

洁净度

ISO Class 2

外形尺寸

W 1000mm X D 1000mm X H 2400mm

Aligner校准器

选配

ID Reader

选配

晶圆机械手规格

RWD-T-Z500-R135

MAP 扫片功能

Y

现场设施

 

 

电源:单相220V

真空:-50KPa或更优

压缩空气:0.4-0.7Mpa

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