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晶圆手臂+横移轴模组

所属分类:

解决方案

光电半导体

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产品描述

 

整合方案
龙门架构
结构特点
采用HIWIN 晶圆手臂,Aligner,HIWIN标准KA模组,直线电机模组或定制;            横移轴可侧佳,水平放置,同时可加载上下运动轴
精度情况
直线电机模组:±0.0002mm;                  丝杠模组±0.02mm
行业应用
 半导体行业,用于各种尺寸晶圆倒片,EFEM模块内
备注
按照客户的要求进行定制

关键词:

晶圆手臂+横移轴模组

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