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EFEM

所属分类：

解决方案

光电半导体

产品附件：

产品描述

在半导体应用中，EFEM（Equipment Front End Module）是连接物料搬运系统和硅片处理系统的桥梁，确保晶圆能在高洁净环境下通过精密机械手传输到工艺、检测模块。

结构

8" , 12" 标准机型盘面式电控箱设计多种感测器侦测各项元件，即时监测设备状态

应用

半导体行业8-12寸晶圆/衬底/退火，减薄等的倒片使用，可定制1到多个LP形式

定制

提供客制化晶圆或其他基板搬运需求

关键词：

EFEM

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